Ceramic bearings for vacuum condition

宇宙空間の真空中、放出する物質はレンズ、太陽電池、ナビゲーションセンサーなどの光学部品に凝縮します。半導体業界では、材料のアウトガスによる汚染が数百万ドル規模のウェハーを損傷させることがあります。

真空環境で注目される軸受部品はケージや潤滑剤です。これらの環境で使用されるベアリングは超クリーンでなければなりません。表面は溶剤で洗浄し、場合によっては揮発性残留物を除去するために焼く必要があります。

潤滑:適切な潤滑はベアリング寿命を延ばすために非常に重要です。転がり軸受の場合、特に臨界速度以上でキャリア流体の膜が形成される場合に、オイルやグリース潤滑剤が最も効果的です。脱ガスは周囲の部品を損傷するだけでなく、油やグリースの効果を低下させることもあります。幸いにも潤滑剤技術が進化し、低放出・低蒸気圧のオイルやグリースが開発されました。これらの潤滑剤は通常、合成炭化水素やPFPEなどのベースオイルを使用して製造されます。これらの流体の蒸気圧は25°Cで約4.7×10〜12トーです。

蒸気圧と化学反応速度の増加により、脱ガス速度は高温で増加します。したがって、真空環境では高温で固体潤滑剤が必要になることがあります。真空用途の典型的な固体潤滑剤には、金、銀、二硫化モリブデン(MoS2)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などがあります。